Six Degree of Freedom Active Vibration Isolator Using Voice Coil Motor
Präzisionsmessgeräte mit einer Auflösung im Nanometerbereich sind fast immer anfällig für Störungen, die vor allem durch Bodenvibrationen, aber auch durch andere Quellen wie akustisches Rauschen und direkte mechanische Vibrationen verursacht werden.
Obwohl das Messgerät selbst so konzipiert ist, dass es mit solchen Störungen umgehen kann, suchen Forscher auf diesem Gebiet immer noch nach einer intelligenten Möglichkeit, dieses Problem zu beseitigen, um ihre Messergebnisse zuverlässiger zu machen. In diesem Buch wird eine Lösung vorgeschlagen, die ein hybrides aktiv-passives Schwingungsisolationssystem zwischen dem Instrument und dem Boden verwendet, um die vom Boden übertragenen Schwingungen sowie die direkten Störungen, die von den beweglichen Teilen des Instruments auf die Trägerplatte der Nutzlast übertragen werden, in allen sechs Freiheitsgraden zu eliminieren.
Der Grund für diese hybride Lösung ist die Nutzung der Vorteile sowohl der passiven als auch der aktiven Stufe. In dieser Forschungsarbeit wird daher die Realisierung eines sechsachsigen hybriden aktiv-passiven Systems vorgeschlagen, das als Tisch-Mikroschwingungsisolator für Präzisionsmessgeräte wie Rastersondenmikroskope sowie für einige Linearmotortische mit kleinen Abmessungen eingesetzt werden kann.
| ISBN: | 9783838380131 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Taschenbuch |
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