
Amorphous and Plycrystalline Thin-Film Silicon Science and Technology -- 2008: Volume 1066
Amorphe, nano-, mikro- und polykristalline Silizium-Dünnschichten und die dazugehörigen Legierungen werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, die von Aktivmatrix-Displays und Bildverarbeitungs-Arrays bis hin zu Solarpanels reichen.
Diese Anwendungen machen die großflächige Elektronik zur derzeit am schnellsten wachsenden Halbleitertechnologie, die die Materialanforderungen und die Leistung der Bauelemente an neue Grenzen treibt. Dieses Buch bringt Forscher zusammen, um ihr Fachwissen zu teilen.
Zu den behandelten Materialien gehören amorphes, nano-, mikro- und polykristallines Silizium sowie deren Legierungen mit Germanium, Kohlenstoff und anderen Elementen. Zu den Themen gehören: das Verständnis der Wachstumsprozesse; die Herstellung hochwertiger Schichten bei hohen Wachstumsraten oder niedrigen Temperaturen; In-situ-Charakterisierungstechniken zur Überwachung des Wachstums; das Verständnis amorpher, gemischtphasiger und kristalliner Strukturen sowie der Prinzipien zur Erhöhung der Kristallinität; die Entwicklung von Prozessen nach der Abscheidung; die Identifizierung grundlegender Fragen der elektronischen Struktur und des Ladungsträgertransports in 3D, 2D und 1D; das Verständnis der Metastabilität und der Rolle des Wasserstoffs; die Integration photovoltaischer Geräte und der Dünnschichtelektronik in Systeme auf Glas, flexiblen Polymeren und anderen nicht konventionellen Substraten; und die Entwicklung, Herstellung und Prüfung von Geräten und Anwendungen.