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Originaltitel:
Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology
Inhalt des Buches:
Erfahren Sie mehr über grundlegende und fortgeschrittene Themen des Ätzens mit diesem praktischen Leitfaden
Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology ist ein praxisorientiertes Handbuch zum Verständnis von Ätztechnologien und deren Anwendungen. Der renommierte Wissenschaftler, Manager und Autor bietet den Lesern ausführliche Informationen zu den verschiedenen Ätztechnologien, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden, darunter thermisches, isotropes Atomschicht-, radikales, ionenunterstütztes und reaktives Ionenätzen.
Das Buch beginnt mit einem kurzen geschichtlichen Überblick über die Ätztechnologie und die Rolle, die sie in der Revolution der Informationstechnologie gespielt hat, sowie mit einer Sammlung der in der Branche gebräuchlichen Terminologie. Anschließend werden verschiedene Ätztechniken erörtert, bevor abschließend die Grundlagen der Konstruktion von Ätzreaktoren und neu aufkommende Themen wie die Rolle der künstlichen Intelligenz in dieser Technologie diskutiert werden.
Atomic Layer Processing umfasst auch eine Vielzahl anderer Themen, die alle zum Ziel des Autors beitragen, dem Leser ein Verständnis der Trockenätztechnologie auf atomarer Ebene zu vermitteln, das ausreicht, um spezifische Lösungen für bestehende und neue Halbleitertechnologien zu entwickeln. Die Leser werden profitieren von:
⬤ Eine vollständige Diskussion der Grundlagen, wie man Atome von verschiedenen Oberflächen entfernt.
⬤ Eine Untersuchung neuer Ätztechnologien, einschließlich des laser- und elektronenstrahlgestützten Ätzens.
⬤ Behandlung der Prozesssteuerung in der Ätztechnik und der Rolle der künstlichen Intelligenz.
⬤ Analysen einer Vielzahl von Ätzmethoden, darunter thermisches Ätzen oder Dampfätzen, isotropes Atomschichtätzen, radikales Ätzen, gerichtetes Atomschichtätzen und mehr.
Perfekt für Materialwissenschaftler, Halbleiterphysiker und Oberflächenchemiker, wird Atomic Layer Processing auch einen Platz in den Bibliotheken von Ingenieurswissenschaftlern in der Industrie und im akademischen Bereich sowie von allen, die sich mit der Herstellung von Halbleitertechnologie beschäftigen, verdienen. Durch die enge Zusammenarbeit des Autors mit der Forschungs- und Entwicklungsabteilung von Unternehmen und mit der akademischen Forschung bietet das Buch einen einzigartigen, vielschichtigen Zugang zu diesem Thema.
Weitere Daten des Buches:
| ISBN: | 9783527346684 |
| Autor: | |
| Verlag: | |
| Einband: | Taschenbuch |
| Erscheinungsjahr: | 2021 |
| Seitenzahl: | 304 |
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