Chemistry of Atomic Layer Deposition
Dieses Buch hilft Chemikern und Nicht-Chemikern gleichermaßen, die Grundlagen der Oberflächenchemie und der Entwicklung von Vorläufersubstanzen zu verstehen und zu verstehen, wie diese Vorläufersubstanzen die Prozesse der Atomlagenabscheidung steuern und wie die Wechselwirkung zwischen Oberfläche und Vorläufersubstanz die Prozesse der Atomlagenabscheidung bestimmt.
Die Grundprinzipien der Atomlagenabscheidung beruhen auf der Chemie zwischen einem Vorläufer und einer Oberfläche.
| ISBN: | 9783110712513 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Taschenbuch |
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