
The Practice of TOF-SIMS: Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry
Die Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (TOF-SIMS) ist eine hochgradig oberflächenempfindliche Analysetechnik, die Informationen über die Zusammensetzung mit einer lateralen Auflösung im Submikrometerbereich liefert. Für ausgewählte Materialien bietet TOF-SIMS eine unvergleichliche Empfindlichkeit bei hervorragender Reproduzierbarkeit, und als massenspektrometrisches Verfahren bietet es auch eine ausgezeichnete Spezifität.
Unter den verfügbaren Analysemethoden gehört sie zu den oberflächenempfindlichsten, aber die ihr zugrunde liegenden physikalischen Prinzipien sind auch am wenigsten verstanden. Dieser Band beschreibt die Instrumentierung und die physikalischen Prinzipien, die der Technik zugrunde liegen, soweit sie bekannt sind, und bietet einen praktischen Ansatz für die Interpretation von TOF-SIMS-Daten.
Die Verwendung fortgeschrittener Datenverarbeitungsmethoden wie multivariate Statistik wird auf leicht verständliche Weise beschrieben. Mit einem grundlegenden Hintergrundwissen in Chemie und Physik im Grundstudium ist das Buch für jeden Studenten, der sich für diese Technik interessiert, von Nutzen.