Bewertung:

Das Buch wird als hilfreicher Einführungstext für die MEMS- und Halbleiterfertigung angesehen, der sich durch eine klare Sprache und einen logischen Aufbau auszeichnet. Es wird jedoch kritisiert, dass es an Tiefe mangelt, nicht genügend Praxisprobleme enthält und manchmal aufgrund fehlender Informationen frustrierend ist.
Vorteile:Klarer und prägnanter Text, gut für Anfänger geeignet, prägnante Herangehensweise an die Themen, logischer Fluss, solide Informationen, nützlich als Nachschlagewerk und gute Beispiele.
Nachteile:Keine ausreichenden Übungsaufgaben, kann wichtige Details beschönigen, einige Erklärungen sind nicht selbstverständlich, erfordern möglicherweise mehrere Lesungen, um sie zu verstehen, und bei einigen Beispielen fehlen ernsthaft die erforderlichen Informationen.
(basierend auf 21 Leserbewertungen)
Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5 of Modular Series on Solid State Devices
Dieses Einführungsbuch setzt minimale Kenntnisse über die Existenz integrierter Schaltungen und das Anschlussverhalten elektronischer Bauteile wie Widerstände, Dioden, MOS- und bipolare Transistoren voraus.
Es vermittelt dem Leser die grundlegenden Informationen, die für fortgeschrittenere Verarbeitungs- und Entwurfsbücher erforderlich sind. Der Schwerpunkt liegt auf den grundlegenden Prozessen, die bei der Herstellung verwendet werden, einschließlich Lithographie, Oxidation, Diffusion, Ionenimplementierung und Dünnschichtabscheidung.
Behandelt auch Verbindungstechnologie, Verpackung und Ertrag. MARKT: Geeignet für Leser, die sich für die Herstellung von Festkörperbauelementen und integrierten Schaltungen interessieren.