Einführung in die Nanometrologie mit fokussierten Ionenstrahlen

Originaltitel:

Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology

Inhalt des Buches:

Dieses Buch beschreibt moderne fokussierte Ionenstrahlmikroskope und -techniken und wie sie zur Unterstützung der Materialmesstechnik und als Werkzeuge für die Herstellung von Geräten eingesetzt werden können, die wiederum in vielen anderen Aspekten der grundlegenden Metrologie verwendet werden.

Weitere Daten des Buches:

• ISBN: 9781643278469
• Autor: C. Cox David
• Verlag: Morgan & Claypool
• Sprache: Englisch
• Einband: Hardcover