
Encyclopedia of Ion Implantation
Dieses Buch befasst sich mit der sich ständig wandelnden Technologie der Ionenimplantation.
Die Ionenimplantation ist ein sich ständig weiterentwickelndes Gebiet, was auf die Anerkennung der verschiedenen kommerziellen Unternehmungen zurückzuführen ist. Verbesserungen bei der Ausrüstung, das Verständnis der Wechselwirkungen zwischen Strahl und Festkörper, Anwendungen für neuartige Materialien, optimierte Charakterisierungsstrategien und aktuelle Fortschritte bei der Implantation von Nanostrukturen zeigen neue Wege für die Ionenimplantation auf und werden in diesem umfassenden Buch beschrieben.