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Focused Ion Beam Systems: Basics and Applications
Das System des fokussierten Ionenstrahls (FIB) ist ein wichtiges Instrument für das Verständnis und die Manipulation der Struktur von Materialien im Nanomaßstab.
Durch die Kombination dieses Systems mit einem Elektronenstrahl entsteht ein DualBeam - ein einziges System, das als bildgebendes, analytisches und probenveränderndes Werkzeug fungieren kann. Dieser 2007 erstmals veröffentlichte Sammelband stellt die Prinzipien, Möglichkeiten, Herausforderungen und Anwendungen der FIB-Technik vor und behandelt umfassend die Ionenstrahltechnologie einschließlich des DualBeam.
Die Grundprinzipien von Ionenstrahl- und Zweistrahlsystemen, ihre Wechselwirkung mit Materialien, Ätzen und Abscheidung werden ebenso behandelt wie die In-situ-Materialcharakterisierung, die Probenvorbereitung, die dreidimensionale Rekonstruktion und Anwendungen in Biomaterialien und der Nanotechnologie. Da nanostrukturierte Materialien in mikromechanischen, elektronischen und magnetischen Geräten immer wichtiger werden, ist diese in sich geschlossene Übersicht über das Spektrum der Ionenstrahlmethoden, ihre Vorteile und den besten Zeitpunkt für ihre Anwendung eine wertvolle Ressource für Forscher in den Bereichen Materialwissenschaft, Elektrotechnik und Nanotechnologie.
