Fundamental of micro/nano fabrication
In diesem Buch wird der spannungsabhängige Prozess des thermischen Nassoxidwachstums beschrieben. Die Oxidationsrate von Silizium ist eine Funktion der Kristallorientierung und des Winkels der Ebenenüberschneidung.
Die Mikrobearbeitungsprozesse der Siliziumoberfläche werden beschrieben, um eine freistehende mechanische Struktur und einzigartige dreidimensionale Merkmale zu erzeugen. Bei der Mikrofabrikation muss eine Massenmikrobearbeitung und ein Ätzmittel berücksichtigt werden. Schematische und mikroskopische REM-Aufnahmen beschreiben, wie Metall (Aluminium) auf eine pyramidenförmige Auslegersonde aus Oxid gesputtert wird, um eine metallische Nanoöffnung zu bilden.
Das theoretische Konzept des Nah- und Fernfeldes wurde mit Hilfe der hergestellten dreieckigen und rechteckigen NSOM-Cantilever-Anordnung mit NSOM-Sonde erläutert. Um den Rauschpegel zu reduzieren und eine hohe optische Übertragung durch die Sonde zu erreichen, hat die entworfene NSOM-Cantileversonde eine Si-Masse unter der Sonde.
Die Hauptkomponenten für die Cantilever sind die optische Übertragung durch die NSOM-Sonde und die Resonanzfrequenz. Die Resonanzfrequenz der Cantilever variiert mit ihren Abmessungen.
Die optische Übertragung wird durch die Öffnung der NSOM-Cantileversonde gemessen.
| ISBN: | 9783639703825 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Taschenbuch |
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