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Fundamentals of Microelectromechanical Systems (Mems)
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Ein kompletter Leitfaden für MEMS-Engineering, Herstellung und Anwendungen
Dieser umfassende Leitfaden für Ingenieure zeigt Schritt für Schritt, wie Sie modernste mikroelektromechanische (MEMS) Technologie in Ihre Designs integrieren können, um Internet-of-Things (IoT) und künstliche Intelligenz (AI) zu ermöglichen. Geschrieben von einem erfahrenen Pädagogen und Mikroelektronik-Experten, erklärt Fundamentals of Microelectromechanical Systems (MEMS) anschaulich die neuesten Technologien und Methoden. Beispiele aus der Praxis, Illustrationen und detaillierte Fragen und Probleme vertiefen die wichtigsten Themen. Die Leser werfen auch einen Blick auf die Zukunft von MEMS in der Arbeitswelt und erforschen MEMS-Forschung und -Entwicklung.
Der Inhalt umfasst:
⬤ Grundlagen der Mikrofabrikation.
⬤ Mikrobearbeitung.
⬤ Grundsätze der Transduktion.
⬤ RF und optische MEMS.
⬤ Mechanik und Trägheitssensoren.
⬤ Dünnschichteigenschaften und SAW/BAW-Sensoren.
⬤ Drucksensoren und Mikrofone.
⬤ Piezoelektrische Filme.
⬤ Materialeigenschaften ausgedrückt als Tensor.
⬤ Mikrofluidische Systeme und BioMEMS.
⬤ Leistungs-MEMS.
⬤ Elektronische Geräusche, Schnittstellenschaltungen und Oszillatoren.
| ISBN: | 9781264257584 |
| Autor: | |
| Verlag: | |
| Einband: | Hardcover |
| Erscheinungsjahr: | 2021 |
| Seitenzahl: | 416 |
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