Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications
Dieses Buch gibt einen Überblick über die wichtigsten und neu entwickelten Techniken für die Halbleiterdehnungsmesstechnik.
Die Dehnungsmesstechnik für Halbleiter hat sich in den letzten Jahren zu einem Thema von großem Interesse für Forscher entwickelt, die sich mit der Charakterisierung von Dünnschicht- und Nanobauteilen beschäftigen. In diesem Buch werden die Prinzipien und Anwendungen der einzelnen Techniken in Form von Tutorials erläutert, die speziell auf Studenten und Postdoktoranden zugeschnitten sind.
Ausgewählte Themen umfassen optische, Elektronenstrahl-, Ionenstrahl- und Synchrotron-Röntgenstrahltechniken. Im Gegensatz zu früheren Büchern wird in diesem Buch die Dehnungsmessung bei Halbleiterbauelementen eingehend und gezielt behandelt.
| ISBN: | 9781608055548 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Taschenbuch |
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