
Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings: Science, Applications and Technology
Diese 3e, herausgegeben von Peter M.
Martin, PNNL 2005 Inventor of the Year, ist eine umfassende Aktualisierung der vielen Verbesserungen bei Abscheidungstechnologien, -mechanismen und -anwendungen. Diese lang erwartete Überarbeitung enthält aktualisierte und neue Kapitel über Atomlagenabscheidung, kathodische Lichtbogenabscheidung, geformte dünne Schichten, Polymerdünnschichten und neue Technologien.
Im gesamten Buch wurde umfangreiches Material hinzugefügt, insbesondere in den Bereichen, die sich mit plasmagestützten Gasphasenabscheidungsprozessen und metallurgischen Beschichtungsanwendungen befassen. * Erläutert eingehend die vielen neuen i.