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Handbook of Chemical Vapor Deposition: Principles, Technology and Applications
Das Handbuch der chemischen Gasphasenabscheidung: Principles, Technology and Applications bietet Informationen zu den grundlegenden Aspekten der chemischen Gasphasenabscheidung. In diesem Buch werden die Anwendungen der chemischen Gasphasenabscheidung erörtert, die eine relativ flexible Technologie ist, die viele Variationen zulässt.
Das Buch ist in 12 Kapitel gegliedert und beginnt mit einem Überblick über die theoretische Untersuchung des Verfahrens der chemischen Gasphasenabscheidung. Anschließend werden die wichtigsten chemischen Reaktionen beschrieben und die in Forschung und Produktion verwendeten Systeme und Anlagen für die chemische Abscheidung aus der Gasphase vorgestellt. Weitere Kapitel befassen sich mit den Materialien, die durch chemische Abscheidung aus der Gasphase abgeschieden werden.
In diesem Buch werden auch die möglichen Anwendungen der chemischen Abscheidung aus der Gasphase in der Halbleiter- und Elektronikindustrie erörtert. Das letzte Kapitel befasst sich mit der Ionenimplantation als einem wichtigen Prozess bei der Herstellung von Halbleitern.
Dieses Buch ist ein wertvolles Hilfsmittel für Wissenschaftler, Ingenieure und Studenten. Auch Produktions- und Marketingmanager sowie Lieferanten von Anlagen, Materialien und Dienstleistungen werden dieses Buch zu schätzen wissen.
| ISBN: | 9780815513001 |
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| Verlag: | |
| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Hardcover |
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