Handbook of Semiconductor Silicon Technology
Dieses Handbuch ist eine umfassende Zusammenfassung der Wissenschaft, Technologie und Herstellung von Halbleitersiliziummaterialien. Jede bekannte Eigenschaft von Silizium wird detailliert beschrieben.
Ein vollständiger Satz binärer Phasendiagramme ist enthalten. Praktische Aspekte wie Materialhandhabung, Sicherheit, Verringerung von Verunreinigungen und Defekten werden ebenfalls eingehend behandelt. Die Grundlagen in den Bereichen Siliziumvorläuferverbindungen, Polysilizium, Siliziumkristallwachstum, Waferherstellung, Epitaxie und CVD-Abscheidung werden von Experten auf diesen Gebieten behandelt.
Zu den behandelten Materialeigenschaften gehören elektrische, optische und mechanische Eigenschaften, Verunreinigungen in der Tiefe und die Lebensdauer von Ladungsträgern sowie die Thermochemie und spezielle Abschnitte über Sauerstoff-, Kohlenstoff- und Stickstoffverunreinigungen. Das Buch enthält ein umfangreiches Literaturverzeichnis, Tabellen mit Materialkonstanten und Siliziumeigenschaften sowie eine Darstellung des Stands der Technik bei der Materialherstellung.
| ISBN: | 9780815512370 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Hardcover |
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