
Hybrid Micromachining and Microfabrication Technologies: Principles, Varieties and Applications
HYBRID MICROMACHINING and MICROFABRICATION TECHNOLOGIES
Das Buch zielt darauf ab, ein gründliches Verständnis zahlreicher fortgeschrittener hybrider Mikrobearbeitungs- und Mikrofabrikationstechniken sowie zukünftiger Richtungen zu vermitteln und Forschern und Ingenieuren, die im Bereich der hybriden Mikrobearbeitung arbeiten, eine geschätzte Orientierung zu bieten.
Das Buch widmet sich fortschrittlichen hybriden Mikrobearbeitungs- und Mikrofabrikationstechnologien, indem es die Prinzipien, Techniken, Prozesse, Bedingungen, Forschungsfortschritte, Forschungsherausforderungen und Möglichkeiten für verschiedene Arten der fortschrittlichen hybriden Mikrobearbeitung und Mikrofabrikation detailliert beschreibt. Es werden die Mechanismen des Materialabtrags erörtert und durch experimentelle Validierung untermauert. Konstruktionsmerkmale von hybriden Mikrobearbeitungsanlagen, die für industrielle Mikrobearbeitungsanwendungen geeignet sind, werden erläutert. Separate Kapitel sind verschiedenen fortgeschrittenen hybriden Mikrobearbeitungs- und Mikrofabrikationsverfahren gewidmet, um Mikrowerkzeuge zu entwerfen und zu entwickeln, die eine der wichtigsten Komponenten in der fortgeschrittenen hybriden Mikrobearbeitung sind und die auch für verschiedene Mikro- und Nanoanwendungen verwendet werden können. Die Stromversorgung und andere wichtige Faktoren, die fortgeschrittene hybride Mikrobearbeitungsprozesse beeinflussen, werden behandelt, und es wird über Forschungsergebnisse zur Verbesserung der Bearbeitungsgenauigkeit und -effizienz berichtet.