
Ceramics Processing in Microtechnology
Die herausragenden Eigenschaften von Keramik haben ihre Verwendung seit Jahrtausenden garantiert, und sie sind auch in der modernen Technik von entscheidender Bedeutung.
Dieses Buch gibt einen Überblick über den Stand der Verarbeitung von keramischen Werkstoffen in der Mikrotechnik. Es befasst sich mit der Mikrofertigung und den Anwendungen von keramischen Werkstoffen.