Lithography: The Science of Microfabrication and Nanofabrication
Die Lithografie ist eine Flachdrucktechnik, die früher auf der Nichtmischbarkeit von Wasser und Öl beruhte. Der Druck erfolgt auf einer Stein- oder Metallplatte mit glatter Oberfläche.
Aufgrund des Bedarfs an hochfunktionalen, miniaturisierten Systemen in verschiedenen Bereichen wurden Techniken der Lithografie entwickelt und für die angestrebten Ziele in zahlreichen Bereichen eingesetzt. Dazu gehören die biomedizinische Forschung, die Halbleiterentwicklung sowie die chemische und biologische Analyse. Die Lithografie spielt eine wichtige Rolle bei der Nanofabrikation und der Mikrofabrikationstechnik.
Bei der Mikrofabrikation handelt es sich um eine Technik zur Herstellung mikroskopischer Strukturen im Mikrometer- und kleineren Maßstab. Bei der Nanofabrikation handelt es sich um eine Technik zur Herstellung ein-, zwei- oder dreidimensionaler Nanostrukturen im Größenbereich von 1-100 Nanometern.
Mikro- und Nanofabrikation sind entscheidend für die Entwicklung miniaturisierter Systeme. Dieses Buch erläutert die Konzepte und innovativen Modelle im Zusammenhang mit zukünftigen Entwicklungen in der Lithografie und ihrer Anwendung in der Mikro- und Nanofabrikation.
Es wird den Lesern helfen, mit den schnellen Veränderungen in diesem Bereich Schritt zu halten.
| ISBN: | 9781647266028 |
| Autor: | |
| Verlag: | |
| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Hardcover |
Derzeit verfügbar, auf Lager.
