
Mems Resonator Filters
Die Verwendung von MEMS-Resonatoren für die Signalverarbeitung ist relativ neu und hat das Potenzial, die Topologie von Schaltungen der neueren Generation zu verändern. Neue Materialien, Design- und Herstellungsprozesse sowie die Integration in konventionelle Schaltungen müssen berücksichtigt werden.
In diesem Buch werden die Herausforderungen und Möglichkeiten der Entwicklung von Schaltungen mit MEMS-Resonatorfiltern untersucht. Der Ersatz klassischer elektrischer Komponenten durch elektromechanische Komponenten wird in diesem Buch erforscht, und die spezifischen Eigenschaften von MEMS-Resonatoren, die in verschiedenen Frequenzbereichen benötigt werden, werden diskutiert. Materialien und ihre Auswahl, CAD-Tools für den Systementwurf und die Integration von MEMS mit CMOS-Schaltungen sowie Entwurf, Herstellung, Prüfung und Verpackung der MEMS-Filter selbst werden ausführlich behandelt.
Fallstudien, in denen MEMS-Resonatoren als Komponenten verwendet wurden, sollen den Leser dazu anregen, die praktischen Anwendungen dieser Technologie zu berücksichtigen.
MEMS-Resonatorfilter sind eine unverzichtbare Lektüre für Entwickler analoger Schaltungen, insbesondere für diejenigen, die Schaltungen für die drahtlose Kommunikation entwerfen, sowie für Forscher und Ingenieure der CMOS-Technologie, die an der Herstellung von Schaltungen beteiligt sind. Auch Entwickler von Sensoren und Schnittstellenschaltungen werden daran interessiert sein, da Resonatoren auch als Sensoren eingesetzt werden.