
MEMS Mirrors
MEMS-Spiegel können Licht lenken, modulieren und schalten sowie die Wellenfront zur Fokussierung oder Phasenmodulation steuern. MEMS-Spiegel haben einen enormen kommerziellen Erfolg in Projektoren, Bildschirmen und in der faseroptischen Kommunikation gefunden.
Mikrospektrometer, die auf MEMS-Spiegeln basieren, kommen allmählich auch auf dem Verbrauchermarkt an. Auch bei der Anwendung von MEMS-Spiegeln für die endoskopische Bildgebung gibt es zahlreiche Durchbrüche. Ebenso spannend ist eine neue Welle von Möglichkeiten für MEMS-Spiegel, z.
B. Mikro-LiDAR für autonomes Fahren und Robotik, Optical Cross Connect (OXC) für Cloud-Rechenzentren und optische Scanner für Virtual Reality/Augumented Reality, um nur einige zu nennen.
Natürlich gibt es eine Reihe großer Herausforderungen, die Forscher und Ingenieure bewältigen müssen, um das Potenzial von MEMS-Spiegeln voll auszuschöpfen: Modellierung und Steuerung sind aufgrund der multiphysikalischen, Multi-DOF- und nichtlinearen Natur der Mikroaktuatoren für MEMS-Spiegel von Natur aus komplex; Zuverlässigkeit ist immer eine große Hürde für die Kommerzialisierung; und die Kompromisse zwischen Geschwindigkeit, Apertur und Scanbereich sind oft überwältigend. Dementsprechend sollen in dieser Sonderausgabe Forschungsarbeiten, Kurzmitteilungen und Übersichtsartikel vorgestellt werden, die sich mit folgenden Themen befassen: (1) neuartige Entwürfe, Herstellung, Steuerung und Modellierung von MEMS-Spiegeln, die auf allen Arten von Antriebsmechanismen basieren; und (2) neue Entwicklungen bei der Anwendung von MEMS-Spiegeln jeglicher Art in der Unterhaltungselektronik, der optischen Kommunikation, der Industrie, der Medizin, der Landwirtschaft, dem Weltraum oder der Verteidigung.