Micro Electro-Fabrication
Mikro- und Nano-Elektrofertigung beschreibt die drei wichtigsten Elektrofertigungstechniken im Nanobereich, darunter die elektroerosive Bearbeitung, die elektrochemische Bearbeitung und die elektrochemische Abscheidung.
Zu den behandelten Anwendungen gehören die Herstellung von Düsen für Automobile, die Bearbeitung von Miniaturlöchern für die Kühlung von Turbinenschaufeln in der Luft- und Raumfahrt, die Herstellung von biomedizinischen Geräten wie Stents, die Herstellung von Mikrokanälen für mikrofluidische Anwendungen, die Produktion verschiedener MEMS-Geräte, das Rapid Prototyping von Mikrokomponenten und die Herstellung von Nanoelektroden für die Rasterelektronenmikroskopie. In diesem umfassenden Buch werden die Grundlagen der verschiedenen Elektrofertigungsverfahren sowie die mathematische Modellierung und Anwendungen erörtert.
Es ist ein wichtiges Nachschlagewerk für Materialwissenschaftler und Ingenieure, die auf der Nanoskala arbeiten.
| ISBN: | 9780128200490 |
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| Einband: | Taschenbuch |
| Erscheinungsjahr: | 2021 |
| Seitenzahl: | 412 |
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