Originaltitel:
Microsystems Dynamics
Inhalt des Buches:
Vorwort; Vorwort; Einführung in die Mikrosysteme; Herstellungstechnologien für Mikrosysteme; Überblick; Nickel-Oberflächen-Mikrobearbeitungstechnologie zur Herstellung von Mikroschaltern; UV-Lithographie zur Herstellung von Mikromotoren; Allgemeine MEMS-Aktoren; Parallelplattenkondensatoren; Kammantriebe; Elektrostatische Mikromotoren; Elektrostatische Mikroschalter; Theoretischer Hintergrund der in Mikrosystemen üblichen multiphysikalischen Wechselwirkungen; Einführung in die Modellierung gekoppelter Felder; elektrostatische Betätigung und Einzugsinstabilität; viskose Luftdämpfung; Wechselwirkungen zwischen Vibration und Aufprall; experimentelle Prüfung der Dynamik von Mikrosystemen; Methoden zur Schwingungserregung; optische Verfahren zur Messung der Schwingungen von Mikrostrukturen; Untersuchung von elastischen Vibro-Impact-Makro- und Mikrosystemen; Überblick über wichtige neue Effekte der nichtlinearen Dynamik in Vibro-Impact-Makrosystemen; Analyse der Dynamik des gekoppelten Feldes in einem elektrostatischen Mikroaktuator vom Kontakttyp; Numerische Modellierung und Analyse der Fluid-Struktur-Wechselwirkung; Numerische Modellierung und Analyse der elektrostatisch-strukturellen Wechselwirkung; Numerische Modellierung und Analyse der Vibro-Impact-Wechselwirkung; Numerische Analyse des Mikromotors; Finite-Elemente-Modellierung des Mikromotors; Modalanalyse; Steuerung des Mikromotors; Analytisches Modell eines Mikromotors; Grundlagen der Geometrie des Mikromotors; Drehmomentanalyse; Konstruktionsrichtlinien für Mikromotoren; Referenzen.
Weitere Daten des Buches:
| ISBN: | 9789048197002 |
| Autor: | |
| Verlag: | |
| Einband: | Hardcover |
| Erscheinungsjahr: | 2010 |
| Seitenzahl: | 214 |
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