Microwave Discharges - Theory & Applications (Plasma Physics Series)
Ich zitiere aus dem Vorwort: "Die meisten Autoren dieses Buches sind bekannte Spezialisten auf verschiedenen Gebieten der Mikrowellenplasmaphysik, -technik und -verarbeitung.
Die Themen decken alle Probleme der Theorie, der Experimente und der Anwendungen von Mikrowellenentladungen ab und liefern den neuesten Stand der Entladungstheorie, der Modellierung und der Diagnostik, der Methoden der Mikrowellenplasmaerzeugung, der Hoch- und Niederdruck-Mikrowellenentladungen, der Wechselwirkung von Mikrowellen mit einem Plasma, der Anwendungen von Mikrowellenplasmen (Oberflächenbehandlung, Ätzen, Filmabscheidung, Wachstum von Strukturen, Lichtquellen, analytische Chemie usw.). ) Wir hoffen, dass dieses Buch für alle Fachleute, die sich mit Niedertemperatur-Plasmaphysik und -Verarbeitung befassen, von Nutzen sein wird.
| ISBN: | 9781934939086 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Hardcover |
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