
Modeling Self-Heating Effects in Nanoscale Devices
Es ist allgemein anerkannt, dass Modellierung und Simulation in der heutigen Zeit, in der die Kosten für Prozessabläufe und zugehörige Maskensätze mit jedem neuen Technologieknoten exponentiell ansteigen, die bessere Alternative zu Versuch und Irrtum bei der Halbleiterherstellung sind. Daher sind genaue Simulationswerkzeuge für physikalische Bauelemente unerlässlich, um die Leistung von Bauelementen und Schaltungen genau vorherzusagen.
Die genaue thermische Modellierung und der Entwurf von mikroelektronischen Bauelementen und Dünnschichtstrukturen auf der Mikro- und Nanoskala stellt eine Herausforderung für Elektroingenieure dar, die mit den grundlegenden Konzepten und Ideen des subkontinuierlichen Wärmetransports weniger vertraut sind. Dieses Buch soll diese Lücke schließen.
Effiziente Methoden zur Wärmeabfuhr sind notwendig, um die Leistung und Zuverlässigkeit von Bauelementen zu erhöhen. Die Autoren stellen dem Leser eine Kombination aus experimentellen Techniken im Nanomaßstab und genauen Modellierungsmethoden vor, die zur Bestimmung des Temperaturprofils eines Bauelements eingesetzt werden müssen.