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Mems Silicon Oscillating Accelerometers and Readout Circuits
Die meisten MEMS-Beschleunigungsmesser auf dem heutigen Markt sind kapazitive Beschleunigungsmesser, die auf dem Mechanismus der Wegmessung basieren. Dieses Buch befasst sich mit den jüngsten Entwicklungen von MEMS-Silizium-Oszillations-Beschleunigungssensoren (SOA), die auch als MEMS-Resonanzbeschleunigungssensoren bezeichnet werden.
Im Gegensatz zum kapazitiven Beschleunigungsmesser basiert der MEMS-SOA auf einem Kraftmessmechanismus, bei dem die Eingangsbeschleunigung in eine Ausgangsfrequenz umgewandelt wird. MEMS Silicon Oscillating Accelerometers and Readout Circuits besteht aus sechs Kapiteln und deckt sowohl den MEMS-Sensor als auch den Ausleseschaltkreis ab und bietet eine ausführliche Berichterstattung über das Design und die Modellierung des MEMS SOA mit mehreren kürzlich vorgestellten Prototypen.
Das Buch ist nicht nur für Forscher und Ingenieure nützlich, die mit dem Thema vertraut sind, sondern richtet sich auch an diejenigen, die ein allgemeines Interesse an MEMS-Trägheitssensoren haben. Das Buch enthält umfangreiche Referenzen, die weitere Informationen zu diesem Thema liefern.
| ISBN: | 9788770229661 |
| Autor: | |
| Verlag: | |
| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Taschenbuch |
| Erscheinungsjahr: | 2023 |
| Seitenzahl: | 312 |
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