
Oxide Thin Film Transistors
Transparente flexible Elektronik ist eine aufkommende Technologie, bei der Halbleiter mit breiter Bandlücke eingesetzt werden, die bei niedrigen Temperaturen auf Glas- oder Kunststoffsubstraten verarbeitet werden können. Elektronische Systeme, die große Flächen und gekrümmte Oberflächen abdecken, bieten in Verbindung mit der Transparenz die Möglichkeit zahlreicher Anwendungen, die außerhalb der Möglichkeiten starrer waferbasierter Elektronik liegen.
Flexible Elektronik, elektronische Textilien, ein tragbares Wellness-System und sensorische Haut sind einige der Anwendungen der flexiblen Elektronik. Dünnschichttransistoren (TFTs) auf der Grundlage transparenter leitender amorpher Oxidhalbleiter (TAOS) wie InGaZnO (IGZO), Zink-Zinn-Oxid (ZTO), Zink-Indium-Zinn-Oxid (ZITO) usw. bieten zusätzliche Funktionen wie Transparenz, hohe Feldeffektmobilität und die Möglichkeit der Verarbeitung bei Raumtemperatur.
Die Leistung dieser auf TAOS basierenden TFTs ist höher als die von Silizium (a-Si:H TFTs) und organischen TFTs. Zwar gibt es Monographien und Bücher über a-Si:H TFTs und organische TFTs,.