
Plasma Science and Technology: Basic Fundamentals and Modern Applications
Plasmen werden gewöhnlich als "vierter Aggregatzustand" bezeichnet und machen mehr als 99 % der bekannten Materie aus.
In der üblichen Terminologie bezieht sich dieser Begriff im Allgemeinen auf teilweise oder vollständig ionisiertes Gas und umfasst eine große Anzahl von Themen mit sehr unterschiedlichen Eigenschaften und Verhaltensweisen. In den letzten Jahrzehnten hat die Physik und Technik von Plasmen ein neues Interesse erfahren, das im Wesentlichen auf eine Reihe wichtiger Anwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Oberflächenbehandlung, Isotopentrennung, Ätzen integrierter Schaltkreise, Medizin usw.
zurückzuführen ist. Plasma-Wissenschaft.