Quantitative Data Processing in Scanning Probe Microscopy: Spm Applications for Nanometrology
Genaue Messungen im Nanomaßstab - Nanometrologie - sind ein entscheidendes Instrument für fortschrittliche Nanotechnologieanwendungen, bei denen exakte Größen und technische Präzision die Möglichkeiten herkömmlicher Messverfahren und -instrumente übersteigen.
Die Rastersondenmikroskopie (SPM) erstellt ein Bild einer Probe, indem sie mit einer physikalischen Sonde abgetastet wird; unabhängig von der Wellenlänge des Lichts oder der Elektronen kann die mit dieser Technik erzielte Auflösung Atome auflösen. Zu den SPM-Instrumenten gehören das Rasterkraftmikroskop (AFM) und das Rastertunnelmikroskop (STM).
Trotz der enormen Fortschritte, die die Rastersondenmikroskopie (SPM) in den letzten zwanzig Jahren gemacht hat, konnte ihr Potenzial als quantitatives Messinstrument noch nicht voll ausgeschöpft werden, was unter anderem an der Komplexität der Wechselwirkung zwischen Spitze und Probe liegt. In diesem Buch nutzt Petr Klapetek die neuesten Forschungsergebnisse, um die SPM als Instrumentarium für die Nanometrologie in so unterschiedlichen Bereichen wie Nanotechnologie, Oberflächenphysik, Werkstofftechnik, Dünnschichtoptik und Biowissenschaften zu erschließen. Klapeteks beträchtliche Erfahrung in der quantitativen Datenverarbeitung mit Hilfe von Software-Tools ermöglicht es ihm, nicht nur die Mikroskopietechniken zu erklären, sondern auch die Analyse und Interpretation der gesammelten Daten zu entmystifizieren.
Zusätzlich zu den grundlegenden Prinzipien und der Theorie der SPM-Metrologie bietet Klapetek dem Leser eine Reihe von Beispielen, die typische Lösungsansätze für SPM-Analysen aufzeigen. Die Quelldaten für die Beispiele sowie die meisten der beschriebenen Open-Source-Software-Tools sind auf einer begleitenden Website verfügbar.
| ISBN: | 9781455730582 |
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| Verlag: | |
| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Hardcover |
| Erscheinungsjahr: | 2012 |
| Seitenzahl: | 336 |
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