Scanning Electron Microscopy
Fein fokussierte Elektronen- und Ionenstrahlen sind ein unverzichtbarer Bestandteil von Methoden und Instrumenten, die in verschiedenen wissenschaftlichen Bereichen eingesetzt werden. REMs sind gut instrumentiert und werden durch fortschrittliche Techniken und Methoden ergänzt und bieten dadurch endlose Möglichkeiten in den Bereichen der quantitativen Messung von Objekttopologien, der Oberflächenabbildung, der Durchführung von Elementanalysen und der lokalen elektrophysikalischen Eigenschaften von Halbleiterstrukturen.
Bei der Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen wird in großem Umfang fein fokussierter E-Strahl eingesetzt. Dieses Buch befasst sich mit verschiedenen Aspekten der Rasterelektronenmikroskopie und deckt dabei sowohl theoretische als auch praktische Aspekte ab.
Zahlreiche Themen sind in zwei Abschnitte gegliedert: Materialwissenschaft und Nanostrukturierte Materialien für die Elektronikindustrie. Dieses Buch enthält Beiträge von renommierten Forschern und Experten auf diesem Gebiet.
| ISBN: | 9781632384065 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Hardcover |
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