Vorstellung des Autors Schmitz John E. J.:

Bisher veröffentlichte Bücher von Schmitz John E. J.:

Chemische Gasphasenabscheidung von Wolfram und Wolframsiliziden für Vlsi/ ULSI-Anwendungen -...
William Andrew Inc
Diese Monographie fasst die relevante und...
Chemische Gasphasenabscheidung von Wolfram und Wolframsiliziden für Vlsi/ ULSI-Anwendungen - Chemical Vapor Deposition of Tungsten and Tungsten Silicides for Vlsi/ ULSI Applications
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