Originaltitel:
Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
Inhalt des Buches:
Es werden alle wichtigen Stufen der Waferherstellung vorgestellt, vom Kristall bis zum fertigen Wafer.
In diesem Buch werden zunächst die Physik, die zugehörige Messtechnik, die Prozessmodellierung und die Qualitätsanforderungen umrissen und anschließend die Techniken der Waferformung und Waferoberflächenvorbereitung erörtert. Abgerundet wird das Ganze durch ein Kapitel über die Forschung und die künftigen Herausforderungen bei der Waferherstellung.
