Bewertung:
Das Buch wird von den Nutzern für seine klare Einführung in die Ellipsometrie geschätzt, die praktische Kenntnisse und Einsichten vermittelt, die besonders für Anfänger von Vorteil sind. Es enthält grundlegende Konzepte, Gleichungen und Fallstudien, was es zu einem umfassenden Leitfaden macht, auch wenn es auf Messungen bei einer einzigen Wellenlänge beschränkt ist.
Vorteile:⬤ Ausgezeichnete Einführung für Einsteiger in die Ellipsometrie.
⬤ Klare Erklärungen der grundlegenden Konzepte und Gleichungen.
⬤ Praktischer Ansatz, der experimentelle Schwierigkeiten angeht.
⬤ Wertvolle Fallstudien zur Anwendung des Wissens.
⬤ Guter Preis und schnelle Lieferung.
⬤ Beschränkt auf Instrumente mit einer Wellenlänge und einem Winkel.
⬤ Behandelt nicht die spektroskopische Ellipsometrie, die zunehmend verbreitet ist.
(basierend auf 7 Leserbewertungen)
A User's Guide to Ellipsometry
Dieser Text über Optik für Doktoranden erklärt, wie man Materialeigenschaften und Parameter für unzugängliche Substrate und unbekannte Schichten bestimmt und wie man extrem dünne Schichten misst. Die 14 Fallstudien veranschaulichen die Konzepte und vertiefen die Anwendungen der Ellipsometrie - insbesondere in Bezug auf die Halbleiterindustrie und auf Studien zu Korrosion und Oxidwachstum.
A User's Guide to Ellipsometry wird den Lesern ermöglichen, über die begrenzten, schlüsselfertigen Anwendungen von Ellipsometern hinauszugehen. Neben der umfassenden Erörterung der Messung der Schichtdicke und der optischen Konstanten in der Schicht werden auch die Entwicklung der ellipsometrischen Parameter Del und Psi sowie die Auswirkungen von Materialänderungen auf die Parameter behandelt.
Dieser Band befasst sich auch mit der Verwendung von Polysilizium, einem in der Mikroelektronikindustrie häufig verwendeten Material, und mit den Auswirkungen der Substratrauhigkeit. Drei Anhänge bieten hilfreiche Referenzen.
| ISBN: | 9780486450285 |
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| Einband: | Taschenbuch |
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