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Spectroscopic Ellipsometry: Practical Application to Thin Film Characterization
Die Ellipsometrie ist eine experimentelle Technik zur Bestimmung der Dicke und der optischen Eigenschaften von dünnen Schichten.
Sie eignet sich ideal für Schichten mit einer Dicke von weniger als einem Nanometer bis zu mehreren Mikrometern. Spektroskopische Messungen haben die Möglichkeiten dieser Technik erheblich erweitert und ihre Anwendung in allen Bereichen eingeführt, in denen dünne Schichten vorkommen: Halbleiterbauelemente, Flachbildschirme und mobile Displays, optische Beschichtungsstapel, biologische und medizinische Beschichtungen, Schutzschichten und vieles mehr.
Es gibt zwar mehrere wissenschaftliche Bücher zu diesem Thema, aber dieses Buch bietet eine gute Einführung in die grundlegende Theorie der Technik und ihre allgemeinen Anwendungen. Die Zielgruppe ist nicht der Ellipsometrie-Wissenschaftler, sondern Verfahrensingenieure und Studenten der Materialwissenschaften, die Experten auf ihrem eigenen Gebiet sind und die Ellipsometrie zur Messung von Dünnschichteigenschaften einsetzen möchten, ohne selbst ein Experte für Ellipsometrie zu werden.
| ISBN: | 9781606507278 |
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| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Taschenbuch |
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