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An Introduction to Time-Of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (Tof-Sims) and Its Application to Materials Science
Dieses Buch beleuchtet die Anwendung der Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS) für die hochauflösende Oberflächenanalyse und Charakterisierung von Materialien.
Es gibt einen kurzen Überblick über die Grundsätze der SIMS und zeigt anhand von Beispielen, wie die Zweistrahl-TOF-SIMS zur Untersuchung einer Reihe von Materialsystemen und -eigenschaften eingesetzt wird. Im Laufe der Jahre hat sich die SIMS-Instrumentierung seit der Entwicklung der ersten Sekundärionen-Massenspektrometer drastisch verändert.
Früher waren die Instrumente entweder für die Tiefenprofilierung von Materialien bestimmt, wobei hohe Ionenstrahlströme zur Analyse von oberflächennahen Bereichen bis hin zur Masse von Materialien verwendet wurden (dynamische SIMS), oder für Flugzeitinstrumente, die komplexe Massenspektren der äußersten Oberfläche von Proben unter Verwendung sehr niedriger Strahlströme erzeugten (statische SIMS). Mit der Entwicklung von Zweistrahlgeräten überschneiden sich nun diese beiden sehr unterschiedlichen Bereiche.
| ISBN: | 9781643279107 |
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| Einband: | Hardcover |
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