Epitaxie: Physikalische Grundlagen und technische Umsetzung

Originaltitel:

Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation

Inhalt des Buches:

In einheitlicher und umfassender Weise beschreiben die Autoren alle wichtigen Aspekte der epitaktischen Wachstumsprozesse von Festkörperschichten auf kristallinen Substraten, z. B.

Prozesse, bei denen die Atome der wachsenden Schicht die Anordnung der Atome des Substrats nachahmen. Der Schwerpunkt liegt auf einer hinreichend grundlegenden und eindeutigen Darstellung des Themas in Form einer leicht zu lesenden Übersicht.

Ein großer Teil des Buches befasst sich mit den Problemen der Heteroepitaxie. Die wichtigsten epitaktischen Wachstumstechniken, die derzeit sowohl in der Grundlagenforschung als auch bei der Herstellung von Bauelementen weit verbreitet sind, werden ausführlich vorgestellt und diskutiert.