
Data-Driven Scheduling of Semiconductor Manufacturing Systems
In diesem Buch wird das intelligente Planungsproblem komplexer Halbleiterfertigungssysteme systematisch von der Theorie über die Methode bis hin zur Anwendung erörtert.
Zu den Hauptinhalten gehören der datengesteuerte Planungsrahmen eines Halbleiterproduktionssystems, die Datenvorverarbeitung eines Halbleiterproduktionssystems, die Korrelationsanalyse des Leistungsindexes einer Halbleiterproduktionslinie, eine intelligente Strategie zur Steuerung der Beschickung, dynamische Dispatching-Regeln, die den Pheromon-Mechanismus simulieren, und eine dynamische Planung mit Lastausgleich einer Halbleiterproduktionslinie, eine leistungsindexgesteuerte dynamische Planungsmethode einer Halbleiterproduktionslinie und ein Planungstrend eines Halbleiterproduktionssystems in einer Big-Data-Umgebung. Dieses Buch soll dem Leser wertvolle Hinweise und Hilfestellungen zu den theoretischen Methoden, Techniken und Anwendungsfällen von Halbleiterfertigungssystemen und deren intelligenter Planung geben.